几种PCVD涂层的抗氧化性能研究

摘要：

该文研究了用PCVD法所制备的TiN，TiAlN及TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明，TiAlN，TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化性可达700℃以上，TiN涂层可达600℃。在双氧水介质中，PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力，且优于PVD-TiN涂层。

关键词： 等离子体化学气相沉积 TiN TiAlN TiSiN 涂层 抗氧化性

作者: 彭红瑞 石玉龙

作者单位: 化工学院等离子体表面技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 752～755

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）