等离子体尘埃的形成与晶体特征的实验研究

摘要：

在用有机硅单体通过等离子体聚合低表面能薄膜实验中，发现：（1）根据放电条件不同，在基版上的生成物可以是低表面能薄膜，液体或尘埃（粉末）。（2）尘埃粉末由无数个直径为0.4—0.6μm的圆球（尘粒）组成。这些小球是在等离子体空间生成，然后在某种力的作用下，按特定规律组合并落在基板上。（3）尘埃的分布组合具有明显的晶体特征。

关键词： 等离子体尘埃 晶体特征

作者: 张广秋 葛袁静 王东宝 何颂华 赵志发 陈思光

作者单位: 北京印刷学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 66-69

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）