等离子体薄膜沉积中荷能量粒子的作用

摘要：

该文利用蒙特卡罗方法初步研究了低能量粒子（＜100eV）对原子沉积薄层的影响。此作用我们简化为两部分：瞬时的局域溅射效应；持续宏观加温作用。

关键词： 等离子体薄膜 低能量粒子 原子沉积薄层

作者: 王均震 刘祖黎 刘洪祥 刘艳红 韩思恩

作者单位: 华中理工大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 77-80

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）