扫描电子显微镜在破坏性物理分析(DPA)中的应用

摘要：

本文就如何利用扫描电镜的高分辨、景深深和立体感强等一序列的技术特点,在DPA中对微电子器件的金属化互连异常缺陷部位进行定位观察和分析进行了探讨.

关键词： 扫描电子显微镜 物理分析 微电子器件 缺陷

作者: 徐爱斌 施明哲

作者单位: 总装备部电子信息基础部军用电子元器件DPA实验室(五所);信息产业部电子第五研究所(广州市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第十届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 14-16

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）