硅微传声器的电声测试与灵敏度分析

摘要：

本文根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并对不同结构参数的电容式微传声器进行性能测试,得出了系统优化的设计原则.若想得到高灵敏度的微传声器器件,在满足工艺可实现性的条件下,必须考虑尽可能小的空气隙厚度,以及具有较小内应力的声学振膜.

关键词： 硅微传声器 振膜 电声测试 灵敏度

作者: 马军 汪承灏 李伯权 李晓东 田静 吕亚东

作者单位: 中国科学院声学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年声频工程学术交流会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 29-33

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）