加速应力条件下热载流子寿命试验及结果分析

摘要：

介绍了评价热载流子注入效应的加速寿命试验,以漏极饱和电流ΔIdsat=10％为失效判据,对该工艺线的热载流子注入效应进行了评价.整个测试过程由程序控制,设备精度高,使用简便,适于亚微米和深亚微米工艺线的可靠性评价.

关键词： 热载流子注入 寿命评价 漏电流 可靠性评价

作者: 林晓玲 黄美浅 章晓文

作者单位: 华南理工大学应用物理系微电子专业 信息产业部电子第五研究所分析中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第十届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 54-59

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）