EBIC成像及其在集成电路中的应用研究

摘要：

本文概述了扫描电镜EBIC像的成像原理,试验了EBIC成像的各种连接方法,并给出了不同连接方式下的VLSI EBIC像,探讨了各种连接方法对EBIC像成像的影响,以及EBIC像在集成电路失效分析中的应用情况.

关键词： EBIC成像 集成电路 成像原理 失效分析

作者: 李兴鸿 王勇 赵春荣

作者单位: 北京微电子技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第十届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 20-22

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）