硅压力传感器芯片的可靠性设计

摘要：

本文从硅压阻式压力传感器的失效模式入手,探讨了硅压阻式压力传感器的可靠性与材料、表面电荷及金属化的关系,并提出了提高可靠性的途径.

关键词： 压力传感器 芯片 可靠性设计 失效分析

作者: 王善慈 齐虹 王蕴辉 庄庆德

作者单位: 中国电子科技集团第四十九研究所 中国电子科技集团第五研究所 河北科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第十届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 172-180

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）