压力传感器用NiCr纳米薄膜

摘要：

采用离子束溅射纳米薄膜技术和半导体微细加工技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,有效地解决了传统压力传感器中”零点漂移”技术难题,真正实现了在高温、振动等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性.

关键词： 纳米薄膜 离子束溅射 压力传感器 稳定性 镍铬合金

作者: 彭银桥 周继承 龙思锐 周宏广

作者单位: 中南大学信息科学与工程学院(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 91-93

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）