减反射薄膜的制备及其性能

摘要：

使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol-Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO<,2>减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果.分析了Sol-Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响.当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3％.采用红外光谱分析了SiO<,2>溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si—O—Si键增强.

关键词： 红外光谱分析 减反射薄膜 二氧化硅 射频溅射法 溶胶凝胶法 膜材料

作者: 张雪娜 徐雪青 沈辉 郑岳华

作者单位: 华南理工大学材料学院(广州) 中国科学院广州能源所(广州) 华南理工大学材料学院(广州);中国科学院广州能源所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 85-89

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）