二维Ge岛成核早期阶段的动力学蒙特卡罗模拟
采用动力学蒙特卡罗(Kinetic Monte Carlo)方法模拟了Si/Ge系统自组织生长Ge量子点过程中二维Ge岛成核的早期阶段.引入吸附原子导致的应力场,对原子扩散的势垒进行了修正.研究了温度和应力场分布对二维Ge岛成核位置以及尺寸分布的影响,结果表明应力场对二维岛的成核具有决定作用,采用调制应力的方法可以有效控制量子点的自组织生长过程.
动力学 蒙特卡罗模拟 自组织生长 应力场 半导体量子点 锗 硅
邓宁 肖鸿 陈培毅 李志坚
清华大学微电子学研究所(北京)
国内会议
宁波
中文
56-59
2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）