某类硅压力传感器的寿命试验设计
本文介绍的某类硅压力传感器采用了OEM扩散型的硅膜片作为压力敏感元件,利用不锈钢波纹膜片与工作介质进行隔离,通过与硅膜片软封接以实现压力传递,再配以相应的温度补偿电路及信号调理电路的研制生产而成.从目前实际使用来看能基本满足任务要求,考虑到长期使用的可能,需要对该类压力传感器的可靠性指标进行定性,乃至定量的测试.而寿命试验是可靠性试验的一个很重要内容,理想的寿命试验数据可以估计出寿命分布类型及其参数,进而计算出各种可靠性特征量,如平均寿命、可靠度和失效率等.本文拟就上述类型硅压力传感器的寿命试验设计做一探讨.
压力传感器 寿命试验 硅膜片
曾固
航天医学工程研究所
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乐山
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2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）