几类潜在损伤对卫星用半导体器件可靠性的影响分析

摘要：

静电放电(ESD)、铝腐蚀和电迁移是几类导致半导体器件失效的原因,由于这几类因素导致的失效是一种潜在的、进行性的失效,具有一定的隐蔽性和不可预测性,因此会对卫星的在轨可靠性产生严重影响.本文从产生原因、危害和预防措施三个方面对这几类可以导致半导体器件产生潜在损伤的原因进行介绍.

关键词： 静电 腐蚀 电迁移 失效分析 半导体器件 可靠性

作者: 张延伟

作者单位: 中国空间技术研究院电子元器件可靠性中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第十届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 87-90

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）