图像识别在四探针测试技术中的应用

摘要：

本文介绍了在斜置式方形探针测试系统中,如何应用图像识别技术来判定探针在微区的位置,进而控制步进电机,使探针自动定位成方形结构,从而保证测试的准确性,并对测试结构对测试结果的影响,进行了初步论述.

关键词： 图像识别 四探针测试技术 斜置式方形探针测试系统 测试结构

作者: 张艳辉 孙以材

作者单位: 河北工业大学微电子所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 441-444

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）