仲裁测量用四探针头的探讨与研制

摘要：

分析硅片电阻率、箔层方块电阻的国际标准测量方法中对探针头的规范要求,并根据这些要求,相应研制了做仲裁测量或校验用的小游移探针头.

关键词： 四探针头 硅片电阻率 小游移探针头

作者: 王昕 王世进

作者单位: 广州市昆德科技有限公司(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 438-440

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）