硅单晶生长系统的稳定性可靠性研究

摘要：

随着大规模集成电路和太阳能光伏电池业的飞速发展,对硅单晶系统的需求越来越迫切,对系统的稳定性可靠性的要求越来越高,本文结合硅单晶系统的结构特点进行稳定性可靠性分析,供大家参考.

关键词： 大规模集成电路 太阳能光伏电池业 硅单晶系统

作者: 李留臣 薛抗美

作者单位: 西安理工大学晶体生长设备研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 430-433

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）