超大规模集成电路工艺应用中的超纯水

摘要：

超纯水中杂质的含量,会影响材料和器件的性能和成品率,随着微电子技术的高速发展,对所用水的纯度要求也越来越高.本文分析了超纯水制备中急待解决的水质项目,阐述了高质量超纯水制备中的新技术.

关键词： 超大规模集成电路 超纯水 微电子技术

作者: 刘玉岭 邢哲 檀柏梅 李薇薇

作者单位: 河北工业大学微电子研究所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 421-424

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）