MEMS工艺中硅各向异性湿法腐蚀模型的发展与展望

摘要：

本文介绍了常用的几种各向异性腐蚀模型,并对它们的优缺点进行了一些必要的评价,最后展望了模型的未来发展.

关键词： MEMS工艺 各向异性 腐蚀模型

作者: 刘玉岭 郝子宇

作者单位: 河北工业大学微电子研究所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 399-402

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）