6H-SiC紫外光探测器响应灵敏度特性的模拟分析
模拟了p-n结结构的6H-SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性.重点讨论了不同的结构,不同的掺杂浓度,以及不同的器件结深对响应灵敏度的影响.对于p<”+>-n结的器件,当受光面为p<”+>层且厚度约为0.2μm,浓度约为9×10<”18>/cm<”3>,n层浓度约为1×10<”16>/cm<”3>时,器件有较大的响应灵敏度R=167.2mA/W;当受光面为n<”+>层且厚度约为0.2μm,浓度约为9×10<”18>/cm<”3>,p层浓度约为1×10<”16>/cm<”3>时,器件有较大的响应灵敏度R=183.5mA/W.通过与文献”1”中测试数据的比较,本文模型能较好的反应实际情况,与实验数据吻合得较好.
紫外光探测器 模拟分析 光响应灵敏度特性
周拥华 张义门 张玉明
西安电子科技大学微电子研究所(西安)
国内会议
深圳
中文
391-394
2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）