高阻SOI在射频电路中的应用优势

摘要：

本文主要概述了基片电阻率对集成电路性能的影响,采用高阻SOI大大提高了RF电路性能,为CMOS在GHz频域的应用提供了发展基础.

关键词： 高阻SOI 射频电路 RF电路性能

作者: 骆苏华 刘卫丽 张苗 刘奇斌 林成鲁

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所国家半导体功能薄膜工程技术研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 319-321

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）