用185nmUV降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳

摘要：

本文研究了185nm紫外灯降解高纯水中有机物的机理,185nm紫外灯先光解纯水,产生活性中间体OH、H和e<,aq>(水合电子),并通过实验测出所形成H<,2>O<,2>的浓度.实验研究用185nm紫外灯降低高纯水中有机物浓度,并进行了不同水处理设备降低高纯水中TOC浓度的比较,得出用185nm紫外灯和膜脱气联用技术效果最好.

关键词： 超大规模集成电路 有机碳 有机物浓度

作者: 闻瑞梅 邓守权

作者单位: 同济大学电子信息学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 212-214

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）