微电子中的高纯化学试剂的应用和发展

摘要：

本文简单的介绍了国内外微电子工业中所用的高纯试剂的应用和发展、工艺提纯技术和我国的发展现状.并对应用前景进行了展望.

关键词： 微电子 高纯化学试剂 工艺提纯技术

作者: 刘玉岭 王超

作者单位: 河北工业大学微电子研究所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 149-151

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）