会议专题

微电子中的高纯化学试剂的应用和发展

本文简单的介绍了国内外微电子工业中所用的高纯试剂的应用和发展、工艺提纯技术和我国的发展现状.并对应用前景进行了展望.

微电子 高纯化学试剂 工艺提纯技术

刘玉岭 王超

河北工业大学微电子研究所(天津)

国内会议

第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

深圳

中文

149-151

2003-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)