电子信息材料晶体生长问题

摘要：

众多电子信息材料晶体,都采用直拉法,从熔体中生长.本文探讨了生长大直径晶体中出现的几个问题.特别是在具有一定过冷度和向熔体空间引入磁感应强度条件下,对晶体生长过程中有关环境相的研究,不但具有学术意义,而且具有重要的实用价值.

关键词： 电子信息材料 晶体生长 直拉法

作者: 徐岳生 王海云 刘彩池 孙卫忠

作者单位: 河北工业大学材料学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 12-15

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）