蓝宝石晶体加载谐振腔测量微波表面电阻

摘要：

本文对圆波导谐振腔和加载介质谐振腔进行了详细分析,提出了利用蓝宝石加载谐振腔测量微波表面电阻的一种新方法.由三个不同直径、相同高度的蓝宝石构成三个谐振器,对同一组铜膜进行测量,根据金属表面电阻与频率的关系,确定测试装置的损耗,从而更精确地测出铜膜的表面电阻.

关键词： 蓝宝石晶体 表面电阻 圆波导谐振腔 加载介质谐振腔

作者: 步云英 于秉华 张旭 冯洪辉 阎少林

作者单位: 天津市半导体技术研究所(天津) 南开大学信息技术学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 111-113

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）