聚脂膜衬底上类金刚石薄膜的XPS研究

摘要：

XPS和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在PET表面注入或沉积碳(C),表面形成了类金刚石薄膜.根据ClsXPS谱直接计算出了sp3的含量.与衬底PET相比,表面薄膜硬度提高了1个量级.

关键词： 聚脂膜衬底 金刚石薄膜 XPS 离子注入 X光电子能谱

作者: 吴正龙 王平 张通和 吴瑜光

作者单位: 北京师范大学分析测试中心(北京) 北京师范大学低能核物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 254-255

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）