全息离子束刻蚀衍射光栅制作

摘要：

本文着重介绍真空紫外闪耀光栅、软X射线Laminar光栅和软X射线自支撑透射光栅的全息离子束刻蚀制作技术,给出相应的研制结果.

关键词： 全息光刻 离子束刻蚀 衍射光栅

作者: 徐向东 洪义麟 刘颖 傅绍军

作者单位: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室(安徽合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 235-237

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）