碳纳米管电子器件的构建和特性测量

摘要：

我们在传统微电子加工基础上结合纳米组装技术构建了基于多壁碳纳米管的纳米电子学器件.在低场下测得导电通道有金属型和半导体型两种.在高场下的电学特性测量表明纳米碳管的最外层管壁对电流的传输起主要作用.

关键词： 碳纳米管 电子器件 电学特性

作者: 梁学磊 陈清 彭练矛 车仁超 夏洋

作者单位: 北京大学信息科学技术学院(北京) 中国科学院微电子中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 215-218

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）