影响离子束溅射淀积薄膜的工艺参数分析

摘要：

本文通过对离子束溅射淀积薄膜的工艺参数的分析,和实验所得出的经验,对指导离子束蚀刻镀膜操作人员在该类设备上制作出优良的薄膜具有一定的参考实用价值.

关键词： 离子束 蚀刻 溅射 淀积 薄膜 工艺参数

作者: 华德清 陈特超

作者单位: 中国电子科技集团公司第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 207-210

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）