大型离子束刻蚀机工作台扫描基准和台面热载的有限元分析

摘要：

本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.

关键词： 离子束刻蚀机 有限元法 结构应力 热应力

作者: 高飞 董晓浩 黄志刚 赵飞云 徐朝银

作者单位: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 195-198

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）