氧离子注入机中粒子污染分析

摘要：

本文描述SOI材料制备工序中,注氧机对SOI材料在离子注入过程中产生粒子污染,影响其顶层硅的性能,结合SIMS测试和ICP-ABS测试的结果,从光路结构、电器参数、靶室等方面分析粒子污染的机理,并提出相应的解决措施.

关键词： 注氧机 溅射 电离 污染 氧离子注入 粒子污染 SOI材料

作者: 唐景庭 刘咸成 伍三忠 贾京英 郭建辉 刘求益

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 190-194

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）