FIB(聚焦离子束)在微电子技术中的应用

摘要：

FIB(Focused Ion Beam)是聚焦离子束技术的简称.该技术集形貌观察、定位制样和电路修正等功能于一身,大大提高了大规模集成电路失效分析的精度和速度,使传统的微分析技术有了新的突破.本文简要介绍了该技术的特点以及在微电子设计和失效分析中的实例,提高了FIB在实际中的应用水平.

关键词： 聚焦离子束 集成电路 微电子技术

作者: 聂纪平 谈毅平 朱朝晖

作者单位: 上海贝岭通讯事业部(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 155-157

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）