电子束直写技术在金刚石声表面波器件制作中的应用

摘要：

随着移动通讯系统的迅速发展,声表面波器件(SAW)使用频率不断提高,从最初的几MHz到现在的几GHz<””2”>,其线宽也进入亚微米、深亚微米阶段,如何制得精细的叉指换能器电极成为声表器件制作的关键.本文重点介绍采用具有比光学曝光设备更高精度的JBX 5000LS电子束光刻系统,利用电子束直写(EDBW)技术制造声表面波器件的技术.

关键词： 电子束直写 电子抗蚀剂 声表面波器件 叉指换能器

作者: 牛洁斌 陈菁菁 刘明 陈宝钦 王云翔

作者单位: 中国科学院微电子中心 清华大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 141-144

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）