JBX-5000LS电子束对准标记检测技术

摘要：

电子束光刻技术是推动微电子技术和微细加工技术进一步发展的关键技术之一,尤其在百纳米到纳米加工领域的科研和开发中,电子束光刻技术起到不可替代的作用.本文重点介绍JEOLJBX-5000LS电子束对准标记的检测技术,有助于我们在利用电子束光刻技术研制开发集成电路时,优化对准标记制作工艺,提高电子束光刻套准精度.

关键词： 电子束直写 对准标记 标记探测技术 集成电路

作者: 李泠 刘明 陈宝钦

作者单位: 中国科学院微电子中心微细加工及纳米技术研究室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 128-132

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）