一种新型图形发生器的硬件方案

摘要：

本文介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能.通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器,使各种图形硬件化,提高了图形的运算和处理速度,克服了以前图形发生器存在的许多弊端.文中对核心模块的设计进行了详尽的介绍.

关键词： 电子束曝光系统 图形发生器 数字信号处理器 硬件

作者: 张鹏 方光荣

作者单位: 中国科学院电工研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 124-127

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）