实用化电子束曝光机的真空系统

摘要：

本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.

关键词： 电子束曝光 自动控制 真空系统

作者: 薛虹 顾文琪 刘俊标 初明璋 唐晖 徐彧

作者单位: 中国科学院电工研究所微纳加工研究部

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 118-120

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）