M24100—1/UM型电子束曝光机

摘要：

电子束曝光是迄今为止分辨率最高的微细加工手段之一,是生产及研制微电子器件及特种微型器件的关键性技术.文章介绍了我所最新研制的M24100-1/UM型电子束曝光机的主要技术指标、原理、结构及实验结果,并扼要介绍了影响电子束图形精度变化的主要原因及具体解决措施.

关键词： 电子束曝光 掩模制作 直接光刻

作者: 郭忠君 刘求益 邱小莎 周建伊 刘冬明

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 107-111

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）