高能纳米级电子束曝光系统研制的必要性与可行性分析

摘要：

与传统的直写式电子束曝光机相比,高能电子束曝光系统由于减小了入射电子的前向散射,在理论上应该具有更高的分辨率.本文在阐述了高能电子束曝光系统研制必要性的基础上,对其改造研制工作的可行性进行了简要分析.

关键词： 高能 电子束曝光 分辨率 可行性分析

作者: 田丰 韩立 顾文琪

作者单位: 中科院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 104-106

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）