Φ6″区熔硅单晶的生长
本文主要介绍了Φ6″区熔硅单晶无位错、无旋涡缺陷的生长工艺及热系统的设计,并对大直径区熔单晶生长过程的几个关键性问题进行了讨论.
Φ6″区熔硅单晶 生长工艺 单晶生长
高树良 沈浩平 刘为钢
天津市环欧半导材料技术有限公司(天津)
国内会议
深圳
中文
93-96
2003-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
Φ6″区熔硅单晶 生长工艺 单晶生长
高树良 沈浩平 刘为钢
天津市环欧半导材料技术有限公司(天津)
国内会议
深圳
中文
93-96
2003-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)