一种半导体材料薄层电阻变温特性自动测试系统

摘要：

针对半导体薄层电阻温度特性的研究,我们自行设计了一套自动化测试系统.本文阐述该系统基本测试原理,硬件结构、软件流程.这套系统成功地应用于氧化钒薄膜的电阻温度特性研究,得到了较好的实验结果.

关键词： 半导体材料 薄层电阻 变温特性 自动化测试系统 电阻温度特性

作者: 黄巍 茹国平 李炳宗

作者单位: 复旦微电子系薄膜技术实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 465-468

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）