AutoCAD文件到电子束曝光数据的转换

摘要：

本文介绍了将AutoCAD产生的DXF文件数据转换为逐点式电子束机专用曝光数据DY51格式的主要算法及程序流程.

关键词： AutoCAD DXF文件 数据转换 电子束曝光 DY51格式

作者: 郝慧娟 张玉林 吴艳平 吕风杰

作者单位: 山东大学控制科学与工程学院(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 91-94

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）