纳米级电子束曝光机软件的研制

摘要：

本文针对正在研制的DY2001A电子束曝光机所需软件进行分析.首先介绍了任务的目的和当前现状;然后从系统研制的角度分析其构成;最后基于现有条件,提出总体要求、方案选择和重点难点和创新点.

关键词： 电子束曝光 软件 图形数据 软件系统

作者: 张今朝 方光荣

作者单位: 中国科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 87-90

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）