电子束曝光技术

摘要：

电子束曝光技术是目前集成加工的重要手段,本文对电子束曝光设备的结构及电子束曝光技术的应用进行了介绍.

关键词： 电子束 曝光技术 集成加工 曝光设备

作者: 刘明

作者单位: 中国科学院微电子中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 6-8

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）