电子束投影曝光机的标记检测系统研究

摘要：

本文介绍缩小投影电子束曝光实验装置中的标记检测系统,给出了实验中得到的标记检测重复精度,提出进一步提高精度的方法.

关键词： 电子束曝光 标记检测 精度

作者: 靳鹏云 史强

作者单位: 中国科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 58-60

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）