电子束缩小投影成像曝光机中的程控透镜稳流电源

摘要：

本文简述了电子束缩小投影成像曝光机采用的程控透镜稳流电源构成、技术指标、工作原理及实验结果.

关键词： 电子束 程控透镜稳流电源 双磁透镜 成像曝光机

作者: 方光荣 薛虹

作者单位: 中国科学院电工研究所微纳加工研究部

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 51-53

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）