组合图形的DXF文件转换为制版通用的CIF文件的方法

摘要：

AutoCAD软件具有强大的图形绘制与编辑功能,能够方便的绘制各种复杂的组合图形,它能输出DXF格式的文本文件,但不能直接输出制版通用的CIF格式文件,因而不能直接用于掩模制版.而CIF格式文件一般由L-Edit版图编辑软件绘制输出,由于受到该软件的功能限制,不能绘制和编辑复杂的图形.本文分析DXF文件和CIF文件对几何图形的不同描述规则,找出它们的关联处,介绍如何把DXF文件转换为CIF文件的方法,特别介绍复杂组合图形的转换方法.

关键词： 集成电路 掩模制版 DXF文件 CIF文件

作者: 侯德胜

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 496-500

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）