基于DSP的电子束曝光机图形发生器控制器

摘要：

可编程DSP芯片是一种具有特殊结构的微处理器,为了达到快速进行数字信号处理的目的,DSP芯片一般采用哈佛结构、流水线操作功能、单周期完成乘法的硬件乘法器、以及一套适合数字信号处理的指令集.由于DSP具有这样的特点,因此适合作为电子束曝光机图形发生器控制器.本文介绍了基于TMS320VC33DSP芯片的图形发生器控制器的研究.

关键词： 电子束曝光机 图形发生器 DSP TMS320VC33

作者: 吴艳平 张玉林 郝慧娟 吕风杰

作者单位: 山东大学控制科学与工程学院(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 47-50

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）