一种新颖的微弯曲面成型技术——多线成面技术
熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺一多线成面技术.该工艺首先借助光刻形成一组高宽比渐变的线条序列,然后借助熔胶工艺得到一组高度梯级分布的曲面线条,所有线条的高度连线结构成了一条曲率半径较大的轮廓线,在此基础上通过二次甩胶并成型使该序列高度轮廓线以平滑曲面形式得到固定,从而形成曲率半径较大的微弯曲面,并可以在此基础上制作微弯曲的线(梁、桥)或面,还可以制作曲率半径较大的三维微复制模具,用于制造微光学元件.
光刻胶结构 熔融成型 二次涂胶定型
蒋振新 丁桂甫 杨春生 倪智萍 张永华
上海交通大学微米纳米研究院,薄膜与微细加工技术教育部开放实验室(上海)
国内会议
北京
中文
465-470
2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）