MEMS隧道加速度计

摘要：

设计了一种隧道加速度计,对器件结构进行了数值仿真分析;在此基础上对器件进行了工艺研究,做出了较为理想的结果;隧尖尺寸为0.02μm×0.02μm,测出隧道电流为1.14~4.68nA.

关键词： 微机电系统 隧道电流 加速度计

作者: 贾玉斌 董海峰 郝一龙

作者单位: 北京大学微电子学研究院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 461-464

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）