中国科学院微电子所HBT技术进展

摘要：

本文简要介绍了中国科学院微电子所在异质结双极晶体管(HBT)研究方面取得的一些成果.异质结双极晶体管(HBT)是国防、通信等高技术领域所需的关键器件之一.由于社会的信息化、网络化不断发展,通信系统进一步高速化和大容量化以及最近以便携式电话为代表的无绳电话等通信设备的发展,预计将会给化合物半导体器件提供很大的市场.

关键词： 微电子 晶体管 半导体器件

作者: 孙海锋 刘新宇 和致经 刘训春 郑丽萍 袁志鹏 刘洪刚 石瑞英

作者单位: 中国科学院微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 439-442

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）