电子束直写技术在声表面波器件制作中的应用

摘要：

声表面波器件从1965年诞生到现在已走过了约38年的历程,目前已经发展成为一个巨大的新兴技术产业. 在电视、广播、通信雷达、遥测遥控等领域得到了广泛的应用.成为整机系统不可缺少的关键器件.近年来由于通信技术的发展,特别是移动通信技术的发展,直接带动声表面波技术向着高频化、低插损、小型化、轻薄化、高可靠性的方向飞速发展

关键词： 电子束 直写技术 声表面波器件

作者: 杨忠山 田丰 韩立 范子坤

作者单位: 中国科学院电工研究所 航天二院二十三所声表公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 42-46

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）